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電子工業(yè)用氣體統(tǒng)稱電子氣體，指在半導體及其它電子產品生產過程中所用到的高純度氣體，是微納電子制造國家安全戰(zhàn)略產業(yè)的關鍵支撐材料，其廣泛應用于大規(guī)模集成電路、液晶顯示器、多晶硅和薄膜太陽能電池、新型電光源、光電半導體器件以及光纖通訊器件等電子行業(yè)。

近年來，隨著微納電子先進制程向大尺寸、窄線寬、高集成度、高均勻性和高完整性發(fā)展，對電子氣體的純度和一致性要求越來越高，除了應具有5 N (99.999%)以上純度，特種氣體，還要求電子氣體中的H2O、氣體雜質(如O2、CO2、CO、CH4等)和金屬雜質(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指標達到ppb (10?9)至ppt (10?12)數(shù)量級，氣體公司，氣體的品質要求高度穩(wěn)定且一致。

特種氣體使用安全

首先，應對特氣的危害性進行分析，通過本質安全設計，消除安全隱患。根據行業(yè)規(guī)范，對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏，確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應采用焊接系統(tǒng)，機械接頭均應置于抽風罩內。排放氣體應進行安全處理。氣體輸送設備具有緊急切斷功能。操作應遵循標準操作規(guī)程。

其次，采用監(jiān)測手段，預防事故發(fā)生。設置氣體泄漏偵測器，監(jiān)控氣體泄漏。可燃性氣體應設置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險氣體應設置過流開關。氣柜應進行負壓監(jiān)測，防止抽風系統(tǒng)的失效。偵測系統(tǒng)應與報警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應進行遠程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應設置不間斷電源。

特種氣體屬于工業(yè)氣體的一種。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎原料，根據不同氣體的生產工藝和用途，可以將工業(yè)氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。其中，蘭州氣體，特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體，包括電子氣體、標準氣體、高純度氣等種類，可應用于電工電子、半導體、液晶面板、光纖、醫(yī)學研究及診斷等多個領域。

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